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产品规格

      DENOIR系列超高纯微电子化学品适用于半导体集成电路,TFT-LCD、硬盘、硅片抛光清洗、太阳能电池片等。公司除提供符合国际半导体行业标准规格的产品外,还可以根据客户的要求生产指定纯度或浓度的产品。

XXLSI级   
                      
金属杂质含量<10ppt

经过0.05微米孔径过滤器过滤,控制0.1微米粒子

100级净化环境中罐装

达到SEMI 5级标准

XLSI级   
                       
金属杂质含量<100ppt

经过0.05微米孔径过滤器过滤,控制0.1微米粒子

100级净化环境中罐装

达到SEMI 4级(C级)标准

SLSI级    
                      
金属杂质含量<1ppb

经过0.05微米孔径过滤器过滤,控制0.2微米粒子

100级净化环境中罐装

达到SEMI 3级(B级)标准

ULSI级    
                       
金属杂质含量<10ppb

经过0.05微米孔径过滤器过滤,控制0.2微米粒子

100级净化环境中罐装

达到SEMI 2级标准

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